11月12日，从中石化南京化工研究院有限公司（简称南化研究院）获悉，由挂靠在南化研究院的全国化学标准化技术委员会硫和硫酸分技术委员会近日在浙江宁波召开标准审查会，全体参会委员和代表参加会议并通过了对《电子级硫酸及试验方法》等标准送审稿的审查，该标准即将上报国家标准化管理委员会。
据介绍，电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子要求达到ppt级。目前，我国高端电子级硫酸产品完全依赖德国BASF等外企进口，严重制约我国芯片产业发展，是主要“卡脖子”产品之一。
近两年，我国电子级硫酸制备技术取得突破，产品质量显著提高，龙头企业电子级硫酸产品中金属离子浓度均小于10ppt，超越了国际SEMI-C12（金属离子<100ppt）级别，与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级（金属离子<10ppt），达到国内领先、世界一流水平。
目前，国内还没有电子级硫酸的国家标准或行业标准，制定适合我国国情的《电子级硫酸》国家标准，为电子级硫酸国产化提供技术支持，同时对解决“卡脖子”问题具有积极意义。根据国标委发[2020]37号《关于下达2020年第二批推荐性国家标准计划的通知》的安排，由湖北兴福电子材料有限公司、南化研究院等负责国家标准《电子级硫酸及试验方法》的制定工作。项目计划号为：20202886-T-606，完成年限为2022年8月，由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63）归口，硫和硫酸分技术委员会（SAC/TC63/SC7）负责实施。
据硫和硫酸分会负责人、南化研究院总经理刘明介绍，标准工作组自去年8月成立以来，主要参照SEMI C44-0708《Specifications and Guidelines for Sulfuric Acid》（硫酸规范与指南）和HG/T 4559—2013《超净高纯硫酸》，同时依据国内生产企业的实际生产状况和用户对产品的质量要求以及国内现阶段成熟的检测手段进行起草。并着重就标准草案中规格的设置、指标的大小及检验方法进行了讨论，对规格和指标确定了“高端与国际看齐、低端适当放宽”的原则，同时结合我国实际情况将规格按杂质含量的区别分为E1-E5五个级别。
据介绍，制定的标准共设置了硫酸含量、外观与色度、不同粒径颗粒的个数、氯化物、硝酸盐、磷酸盐、铵盐、还原高锰酸钾物质及金属杂质等共35个项目的技术指标，检测方法根据目前企业的实际情况，大部分采用了相应的、具有较高精度的仪器分析。对于检测方法，鉴于前期阴离子采用仪器分析法所遇到的实际困难，因而其分析方法采用比色法，金属元素采用ICP-MS方法。
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