6月3日，省化工行业协会在南京组织召开徐州博康信息化学品有限公司、北京航空航天大学、东南大学、中国科学院微电子研究所、清华大学、南京理工大学联合研发的“面向先进工艺节点的深紫外光刻胶关键技术”科技成果鉴定会。
该项目采用“单体设计—光酸调控—树脂合成—配方集成—制程适配—性能评估”全链条研发模式，突破对单体/光酸的分子设计与合成技术、树脂聚合与结构调控技术、以及电子级原材料的高纯化与痕量金属控制等技术。系列光刻胶产品已在多家晶圆厂及器件企业成功导入；性能达到国外企业同类产品标准，产品综合性能达到了国际先进水平。
以南京大学叶建东教授为首的鉴定委员会一致同意该项目通过科技成果鉴定。
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