氟材料是指分子结构中含有氟原子的一类高分子合成材料，以其卓越的耐化学性、耐高低温性、低介电常数、低摩擦系数和憎水憎油性而闻名。
今天给大家简答介绍一下氟材料的分类、氟材料在半导体行业中的应用以及相关企业。
一、氟材料的分类
主要可以分为以下几大类：
1. 氟树脂（塑料）
这是应用最广泛的一类氟材料，通常为半结晶性聚合物。
聚四氟乙烯 (PTFE)：俗称“塑料王”。具有最优异的化学惰性、宽广的使用温度（-190℃～260℃）、极低的摩擦系数和介电常数。但其缺点是难以加工（通常采用烧结成型）且机械性能较差。
全氟（乙烯-丙烯）共聚物 (FEP)：可以看作是PTFE的改性版本，引入了丙烯单元。它保留了PTFE的大部分优良特性，但熔点更低，可以采用熔融挤出等热塑性塑料的加工方式，使其在管线衬里和线缆绝缘方面应用广泛。
可熔性聚四氟乙烯 (PFA)：同样是为了改善PTFE的加工性能而开发。它的性能与PTFE非常接近，耐温性优于FEP，同时也能进行熔融加工，常用于制造要求极高的半导体级管道、阀门和容器。
聚偏氟乙烯 (PVDF)：机械强度高、耐辐射性好，并且具有压电性和热电性。其化学耐性略低于PTFE/FEP/PFA，但对卤素和氧化剂仍有很好的抵抗能力。常用于制造泵、管道和洁净室建材。
乙烯-四氟乙烯共聚物 (ETFE)：具有优异的抗冲击强度、耐磨性和抗撕裂性，机械性能是氟树脂中最好的之一。常用于芯片承载器、线缆护套等。
四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物 (PFA)：(常与上面的PFA归为一类，性能类似)。
聚三氟氯乙烯 (PCTFE)：对气体的阻隔性极好，透湿性极低，常用于高纯化学品的包装。
2.氟橡胶(FKM)
氟橡胶是在主链或侧链含有氟原子的弹性体，以其极佳的耐高温和耐化学品（尤其是油类、燃料、酸和溶剂）性能而著称。
在半导体中，主要用于制造O型圈、密封圈、隔膜等动态或静态密封件，用于真空腔室、泵阀和腐蚀性化学品输送系统中。
3.全氟醚橡胶(FFKM)
可以看作是氟橡胶的“终极”版本，其分子链中完全不含氢原子，仅由碳、氧和氟原子构成。
具有超越FKM的耐化学性和耐极端高温性能（可达300℃以上），几乎能抵抗所有化学品的侵蚀。
在半导体中，用于最严苛的工艺环节，如等离子体蚀刻、化学气相沉积 (CVD) 腔体的关键密封，是确保工艺腔体超高真空和不受污染的关键材料。
4. 氟涂料和氟流体
氟涂料：用于为设备部件提供抗粘、耐腐蚀的保护层。
氟流体：如全氟聚醚(PFPE)，具有化学惰性、不燃性和热稳定性，常用于半导体设备的真空泵油和导热冷却液。
二、在半导体制造中的应用
半导体制造是极其精密的工业过程，对材料的纯度、稳定性和耐腐蚀性要求近乎苛刻。氟材料因其独一无二的特性，几乎贯穿了整个芯片制造流程。
核心需求：
超高纯度：避免引入金属离子等杂质污染晶圆。
卓越的耐化学性：抵抗强酸（氢氟酸、硫酸、硝酸、盐酸）、强碱、强氧化剂、高活性等离子体和各种高纯溶剂的侵蚀。
耐高温性：适应CVD、扩散、离子注入等高温工艺。
低释气性：在真空环境下不会释放出气体分子，避免破坏真空度和污染腔室。
出色的电气性能：如低介电常数，适用于电气绝缘部件。
具体应用场景：
1. 高纯化学品输送系统
管道和管线：PFA 是制造超高纯化学品（如硫酸、氢氟酸、双氧水、蚀刻液、光刻胶溶剂）输送管道的首选材料。其内壁光滑，防止颗粒附着，且不会析出污染物。
阀门、接头、泵和储罐：PTFE、PFA、PVDF 被广泛用于制造这些系统的关键部件，确保整个输送路径的纯净和耐腐蚀。
2. 晶圆加工设备（Fab Equipment）
工艺腔室部件：
蚀刻(Etching)和CVD腔体：内部的喷淋头(Showerhead)、气体分配盘、聚焦环(Focus Ring)、腔室内衬(Liner) 等大量使用PTFE、PFA等材料制造，以承受腐蚀性工艺气体（如CF₄, SF₆, Cl₂）和等离子体的轰击。
密封件：腔室门、视窗、电极导入等处的静态和动态密封，根据工况严重程度，依次使用FKM（一般工况）和FFKM（极端工况）。FFKM是确保腔体在高腐蚀性等离子体环境中维持超高真空的关键。
湿法工艺(Wet Bench)：
用于晶圆清洗、蚀刻的槽体、花篮、卡具等常使用PVDF或PP（聚丙烯）内衬，但关键部件和高端应用会使用PFA。
3. 先进光刻技术 (Lithography)
EUV 光刻胶：极紫外(EUV)光刻是生产7nm以下芯片的关键技术。新一代的含氟化学放大光刻胶正在被开发，因为氟原子对EUV光有较高的吸收效率，可以提高光刻灵敏度和分辨率。
4. 化学机械抛光(CMP)
抛光垫载体膜：CMP抛光设备的抛光头中有一层关键薄膜，用于向下均匀传递压力并保持晶圆。PTFE涂层或复合膜因其抗粘性和化学稳定性而被应用于此。
5. 真空系统
真空泵：半导体设备的干式泵和分子泵广泛使用FFKM作为密封材料。同时，全氟聚醚 (PFPE) 油也常用作真空泵的工作流体，因其具有极低的蒸气压和化学惰性。
6. 线缆与连接器
在具有腐蚀性气氛的厂务环境中，FEP、ETFE 被用作关键传感器和线缆的绝缘护套，保证信号传输的稳定和设备安全。
三、江苏氟材料相关企业
江苏旭氟新材料有限公司：PTFE槽体、PTFE花篮、PTFE加工件、PTFE CUPPITE板棒膜材料。
南京肯特复合材料股份有限公司：PTFE/PCTFE/PPA/P1/PEEK制品。
无锡海创半导体有限公司：全氟硅密封圈、门板、MKS、真空阀门、ESC。
沸点密封科技（江苏）有限公司：全氟硅KK/KH/KS以及氟系列全系0-Ring。
江阴市江南氟塑有限公司：PVDF管配件、高纯度PFA衬里隔膜阀。
江苏瑞氟超净科技有限公司：超纯PFA管/PFA棒/PFA板、PCTFE管/棒。
意氟密封件（无锡）有限公司：四氟模压管、四氟模压板、四氟薄膜。
迅势科技（苏州）有限公司：高纯PFAR隔膜阀、高纯PFAR接头、高纯PFAR管材、传感、泵。
米克纳精密科技（苏州）有限公司：PFA气动隔膜阀（3/4"、1/2"、1/4"、1/8" 等）。
江苏德荣特新材料有限公司：PTFE软管、PFA管、冷却用橡胶管、卡套接头。
江苏祥健新材料科技有限公司：PTFE制品、PFA制品、PCTFE制品。
南通金沐霖流体科技有限公司：PFA，软管、波纹管、弹簧管、接头、阀门；PTFE/PVDF/PP，接头、阀门、非标定制件化学品接头。
昆山市台圣材料科技有限公司：半导体特种工程塑料设计加工制造、PP/PVC机柜槽体清洗机通风柜、PEEK、PTFE加工、高性能工程塑料板材。
江苏林炜新材料有限公司：------
苏州安和达塑胶制品有限公司：PEEK, PVDF, PP, PTFE, PI。
中华人民共和国国家发展和改革委员会 中华人民共和国工业和信息化部 中华人民共和国应急管理部 中华人民共和国生态环境部 中华人民共和国科学技术部 中华人民共和国财政部 中华人民共和国商务部 中国石油和化学工业联合会
江苏省发展和改革委员会 江苏省工业和信息化厅 江苏省财政厅 江苏省生态环境厅 江苏省科学技术厅 江苏省商务厅 江苏省应急管理厅 江苏省市场监督管理局 江苏省统计局
北京市化学工业协会 天津市石油和化工协会 辽宁省石油和化学工业协会 内蒙古石油和化学工业协会 重庆市石油与天然气学会 河北省石油和化学工业协会 山西省化学工业协会 吉林省能源协会 黑龙江省石化行业协会 浙江省石油和化学工业行业协会 安徽省石油和化学工业协会 福建省石油和化学工业协会 江西省石油和化学工业协会 河南省石油和化学工业协会 湖北省石化行业协会 湖南省石油化学工业协会 广东省石油和化学工业协会 海南省石油和化学工业行业协会 四川省化工行业协会 贵州省化学工业协会 云南省化工行业协会 陕西省经济联合会 甘肃省石化工业协会 青海省化工协会
电话：协会：025-8799064 学会：025-86799482
会员服务部：025-86918841
信息部：025-86910067
传真：025-83755381
邮箱：jshghyxh@163.com
邮编：210019
地址：南京市梦都大街50号东楼(省科技工作者活动中心)5楼
增值电信业务经营许可证：苏B2-20110130
备案号：苏ICP备13033418号-1
